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紫外LED照明均匀性实时检测系统研究

发布时间:2021-04-07 17:52
  紫外照明系统是光刻系统或固化系统的重要组成部分之一。紫外照明系统的目的是为光刻系统或固化系统提供照明,为整个系统提供光源。目前,紫外LED照明系统因为经济环保的特性,逐渐成为光刻系统或固化系统中的主流照明方式。紫外LED照明系统的均匀性,直接影响了光刻以及固化的优劣。本论文对紫外LED照明系统均匀性检测技术进行了研究,开发出一套实时检测的检测系统。本文首先介绍了课题研究的目的和意义,阐述了紫外照明系统的应用领域以及LED紫外照明系统的优点以及发展的趋势,介绍了照明系统均匀性检测研究现状。结合提出的多点实时检测技术,结合修正算法,设计了紫外LED照明系统均匀性实时检测系统。系统由探测器单元,数据处理单元和人机交互及显示单元。探测器单元选择了紫外增强型PIN光电二极管,并设计了复合电流—电压放大电路完成对紫外增强型PIN光电二极管输出信号的转换与放大。选用高速低功耗MSP430单片机作为数据处理单元核心处理部件,实现数据处理功能。并设计了人机交互与显示界面,实现了系统的校准功能和检测结果显示功能。实验结果表明针对提出的多点实时检测技术设计的LED紫外照明系统均匀性实时检测系统符合实际预期。 

【文章来源】:长春理工大学吉林省

【文章页数】:64 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

紫外LED照明均匀性实时检测系统研究


光刻机

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图 1.2 紫外固化设备图 1.3 紫外固化过程料的应用领域非常宽。在木器制品的应用中,紫外固常见的木制板材,家具等,都是紫外固化涂料的重要光纤涂料也是非常重要的应用,同时其也已成为整个用之一。该应用是在光纤拉直成型后利用紫外固化技证光纤工作的稳定性和高性能。紫外固化涂料是光纤造的重要构成。除了光纤通信以外,紫外固化涂料也

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5图 1.3 紫外固化过程固化中涂料的应用领域非常宽。在木器制品的应用中,紫外固化涂料广的,比如常见的木制板材,家具等,都是紫外固化涂料的重要应用场景。中,固化光纤涂料也是非常重要的应用,同时其也已成为整个涂料固化表性的应用之一。该应用是在光纤拉直成型后利用紫外固化技术将涂料面,以保证光纤工作的稳定性和高性能。紫外固化涂料是光纤制作中不,是光纤制造的重要构成。除了光纤通信以外,紫外固化涂料也因为涂层的优势,在塑料制品,金属材料物品中也常有应用。除此之外,涂料的应光盘、石材、皮革等[26; 27]。

【参考文献】:
期刊论文
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[10]一种新型PCB数字光刻投影成像技术[J]. 刘志涛,周金运,刘丽霞,郭华,邝健.  激光与光电子学进展. 2015(04)

博士论文
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[2]投影光刻物镜的光学设计与像质补偿[D]. 许伟才.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2011
[3]深紫外光刻复杂照明光学系统设计[D]. 赵阳.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2010



本文编号:3123916

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